七星质量流量计CS200
流量最低可至2sccm,精度可高达 ±1.0% S.P.(设定点)。
应用设备：质谱分析仪，多气体校准仪，ICP，ICP-MS等。
产品参数：
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CS200A |
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型号 |
CS200-A |
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阀类型 |
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 |
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流量规格(N2) |
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
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准确度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
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线性 |
±0.5% F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S. |
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响应时间 |
≤ 1sec |
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工作压差范围 |
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM |
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温度系数 |
零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM |
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耐压 |
3MPa |
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漏率 |
1×10-10 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
氟橡胶； |
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工作环境温度 |
（5～45）℃ |
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输入信号 |
数字: RS485 或 DeviceNet或ProfiBus |
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输出信号 |
数字:RS485或 DeviceNet 或ProfiBus 模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA |
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零漂 |
在没有零点校正时＜0.6%F.S/年 |
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电源 |
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表面化学成分 |
常态 |
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表面粗糙度 |
25 Ra |
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标准接头形式 |
双卡套 φ6；双卡套1/4´´；双卡套3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3； 双卡套1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头; φ5(内)x1.5软管接头; φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm；A型密封接头; |
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电源接头形式 |
D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头； ProfiBus接头；模拟接头 |
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重量 |
1 Kg |
